碱洗添加剂

1、低过氧化氢耗量
可在极低的过氧化氢用量条件对有机物和硅片表面杂质进行去除
2、降耗
实验过程中无需补碱，同时大幅降低双氧水耗量
3、更强的清洗效果
增强体系的清洗效果，组分无残留，优化良率
4、适用范围广
可应用于不同湿法工艺段的前后清洗过程