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RCA添加剂
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1、量产效率增益
poly清洗能力提升,清洗后减少残留提高效率良率
2、药液长寿命
药液周期可至96h,周期内塔基稳定,外观良好
3、工艺窗口宽
碱和添加剂工艺窗口较宽
4、降耗
碱降低20-30%,添加剂降低10-20%
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