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碱抛添加剂
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1、工艺窗口宽
满足不同塔基适配以及不同减重要求
2、药液长寿命
换液周期可延长至1800批次,周期内SPC稳定
3、高平整度低减重
--增加背面抛光后塔基平整度,降低线痕高度
--相同塔基,减重较当前主流款低10%,预期可降低碎片率
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